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1200℃滑動雙溫區(qū)PECVD系統(tǒng)

更新時間: 2024-05-09

訪問次數: 8726

產品報價:

產品簡介: PECVD系統(tǒng)配置:1.1200度開啟式雙溫區(qū)真空管式爐2.等離子射頻電源3.多路質量流量控制系統(tǒng)4.真空系統(tǒng)(可選配中真空或高真空)

詳細資料:

產品用途:

產品性:

PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發(fā)生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。

產品組成:

PECVD系統(tǒng)配置:

1.1200度開啟式雙溫區(qū)真空管式爐

2.等離子射頻電源

3.多路質量流量控制系統(tǒng)

4.真空系統(tǒng)(可選配中真空或高真空)  

產品特點:

生長溫度低;沉積速率快;成膜質量好,適用范圍廣,設備簡單。

天津中環(huán)電爐股份有限公司立于1993年,2015年公司進行股份制改造,更名為天津中環(huán)電爐股份有限公司。公司集研發(fā)、制造、營銷能力于一身,為眾多科研院所、大學提供實驗室電爐系統(tǒng)及服務并深受用戶肯定;以北大、清華、中科院各院所等為代表的客戶群體已經超過一千家,并為客戶完成科研項目做出了自己的貢獻。截至到目前,公司已經成功研發(fā)出深受用戶肯定的21個系列260多個品種的產品,同時公司的研發(fā)團隊已具備為客戶量身打造特殊需求的實驗室電爐系統(tǒng)的能力。二十多年以來,公司的品牌在客戶的口碑中得以不斷的成長,同時在政府的扶植下取得了可喜的榮譽。

 

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